[경기도의 미래와 함께하는 유망중소기업] 엔비스아나(주)

반도체 웨이퍼금속성 오염...전자동 분석장비 개발 성공
‘M-SPEC_MG3000/IG3000’ 개발 완료 해외 기업들에 판매, 국내·외 핵심 특허 12건 보유

2010년 설립 후 지속적인 개발 끝에 반도체 생산공정 진행 중 NVD를 전자동으로 분석하는 장비인 ‘M-SPEC_MW300시리즈’를 세계 최초로 개발해 공급하는 엔비스아나(주)(대표 송기홍)가 그 주인공이다.

반도체 산업은 공정이 미세화 될수록 전력효율성과 성능이 높아지고 단위당 생산성이 증가한다. 이에 반도체 제조업체들은 최근7나노 양산에 이어 5나노, 3나노까지 초미세공정을 개발하기 위해 치열한 경쟁을 펼치고 있다.

이러한 공정 미세화에 따라 반도체 불량을 유발할 가능성이 커지며 제조공정 진행 중 오염을 감지하기 위한 기술 요구는 더욱 높아졌다.

이에 엔비스아나는 지속적인 연구개발 끝에 2015년세계최초로반도체라인 내에서 제조공정이 진행중인 웨이퍼의금속성 오염을 전자동으로 분석하는 장비개발에 성공했다. 엔비스아나는 주력제품인 ‘M-SPEC_MW300 시리즈’의 성능을 거듭 업그레이드하며 국내ㆍ외 반도체 생산라인 및 실리콘웨이퍼 생산라인에 약60대의장비를 공급하는 성과를 거뒀다.

이후 금속성오염모니터링 기술을확대 적용한 엔비스아나는 반도체용 공정가스 내의 금속성ㆍ이온성 오염을전자동으로 분석하는 ‘M-SPEC_MG3000/IG3000 시리즈’를 개발 완료해 해외 기업에 판매했고,디스플레이용케미컬 소재 내 금속성 오염을 전자동으로 분석하는‘M-SPEC_MC3000 시리즈’를개발해 국내 업체에 공급했다.

엔비스아나는이온성 오염을 모니터링하는 I-SPEC과 유기성 오염을 모니터링하는O-SPEC 장비 개발에도 적극 나서고 있다.

이 같은 끊임없는 혁신과 자기 노력을 통해 오염 모니터링을 위한 4대 핵심 원천기술(화학분석ㆍ자동화ㆍ오염제어ㆍ안전설계)로 총 12건의 국내ㆍ외 핵심 특허를 보유한 엔비스아나는 경기도와 경기도경제과학진흥원의 ‘2019 경기도 유망중소기업 인증’을 받아 국내를 대표하는 기업으로 주목받았다.

송기홍 엔비스아나 대표는 “전문가로 구성된 맨파워와 축적된 기술 노하우를 토대로 지속적인 기술개발에 나서 세계 시장을 선도할 수 있는 기업으로 성장하겠다”고 포부를 밝혔다.

이광희기자