경기일보로고
경제 경제일반
search
공유 close
글자크기 설정 close

‘1배 간섭계용 대물렌즈’ 개발 성공

승인 2009-09-22 00:00
이동희기자 dhlee@ekgib.com
기자페이지 
산업기술대 정미숙 교수팀 - ㈜에이앤아이

국내 연구진이 반도체 등의 나노(㎚)급 3차원 형상을 기존 보다 2.5배나 정밀하게 측정할 수 있는 간섭계(빛의 간섭현상을 이용해 표면 상태 등의 정보를 측정하는 장치)용 대물렌즈를 개발했다.

한국산업기술대학교 나노-광공학과 정미숙 교수팀은 광학측정기 제조업체인 ㈜에이앤아이(대표 박병해)와 산학협력을 통해 기존 보다 배율을 획기적으로 낮춰 검사 및 측정범위를 전체 형상으로 확대한 ‘1배 간섭계용 대물렌즈’를 세계 최초로 개발하는데 성공했다고 21일 밝혔다.

이 간섭계용 대물렌즈는 오는 11월 부터 양산에 들어 가며 산업현장에 적용할 경우 측정·검사작업에 소요되는 시간을 최대 6배까지 단축할 수 있으며, 기존 수입제품에 비해 가격은 절반에 불과하다.

정미숙 교수는 “이 간섭계용 대물렌즈는 같은 성능을 가지면서 시야범위를 넓게 가져 갈 수 있는 게 특징”이라며 “성능과 가격에서 경쟁력을 갖췄기 때문에 수입제품을 빠르게 대체할 것으로 기대된다”고 말했다.

한편 1배 간섭계용 대물렌즈를 공동개발한 에이앤아이는 23일 한국산업기술대학 주최로 열리는 ‘제9회 산학협동 산업기술대전’에서 최고상인 국무총리상을 수상한다.

/시흥=이동희기자 dhlee@kgib.co.kr

© 경기일보(www.kyeonggi.com), 무단전재 및 수집, 재배포금지
댓글 댓글 운영규정
최신순 추천순